Sonderforschungsbereich 516
Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme
Der Sonderforschungsbereich 516 'Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme' wird methoden- und bauelementbezogene Grundlagen für die Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme liefern.
Eines der Ziele ist es, einen systematischen Konstruktionsprozess für
aktive Mikrosysteme unter Berücksichtigung von Baukastensystemen mit standardisierten
Komponenten bereitzustellen. Integriert wird in den Konstruktionsprozess außerdem eine
präventive Qualitätssicherung, die auf funktionelle und fertigungstechnische
Randbedingungen Bezug nehmen wird. Hiermit können auch bei kleineren Stückzahlen der
Entwicklungs- und Erprobungsaufwand begrenzt und wirtschaftliche Neuentwicklungen
ermöglicht werden.
Weiterhin werden Grundlagen für die unterschiedlichen Fertigungstechnologien für aktive
Mikrosysteme erarbeitet. Dieses beinhaltet nicht nur mikrotechnische Fertigungsmethoden,
sondern auch konventionelle Bearbeitungsverfahren, wie z.B. spanende oder abtragenden
Verfahren. Damit werden flexible Fertigungstechnologien bereitgestellt, sowie weitere
Werkstoffe für die mikrotechnische Anwendung erschlossen.
Eng mit den Fertigungsmethoden verbunden ist die Erarbeitung von neuartigen, an die
speziellen Randbedingungen angepassten Montagetechnologien. Diese werden insbesondere
gekennzeichnet durch die notwendige Genauigkeit, die sich aufgrund der extrem kleinen
Toleranzen sowie dem veränderten Teileverhalten bei Mikrobauteilen ergibt. In diesem
Zusammenhang ist auch eine Weiterentwicklung der Fertigungsmeßtechnik von hoher
Bedeutung.
Aufgrund der bei vielen Aktoranwendungen auftretenden Relativbewegungen zwischen einzelnen
Funktionsbaugruppen bei aktiven Mikrosystemen wird das Verschleiß- und Reibungsverhalten
von Mikrokomponenten untersucht, um Grundlagen für Komponenten zur Führung und Lagerung
der bewegten Elemente bereitzustellen. Auf dieser Basis werden aktive Linearführungen
für Mikrosysteme entwickelt.
Aus den Zielsetzungen ergibt sich die Gliederung
des Sonderforschungsbereiches in drei Projektbereiche. Der Projektbereich „Entwurf
und Konstruktion" widmet sich dem Konzept und den Parametern für
die Entwicklung des aktiven Mikrosystems. Der Projektbereich „Fertigung" befasst
sich mit Aspekten der Bauteilfertigung, der Montage und der Fertigungsmesstechnik. Im
Projektbereich „Führen und Messen" werden Verschleiß- und Reibungsverhalten
von Mikrokomponenten bei unterschiedlichen Führungssystemen charakterisiert.
Die Zielsetzung des Sonderforschungsbereiches verlangt die interdisziplinäre
Zusammenführung mikrotechnischen, konstruktions-, produktions- schichtwerkstoff- sowie
antriebstechnischen Wissens. Dieses wird über die Ausrichtung der beteiligten Institute aus Braunschweig und Hannover
erreicht.