Sonderforschungsbereich 516
Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme
Der Sonderforschungsbereich untergliedert sich in 3 Projektbereiche, die jeweils aus unterschiedlichen Teilprojekten gebildet werden. Außerdem gibt es verschiedene Arbeitsgruppen, die den Austausch der wissenschaftlichen Ergebnisse zwischen den einzelnen Projektbereichen gewährleisten.
| Projektbereich A: Entwurf und Konstruktion |
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| Projektbereich B: Fertigung |
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| Projektbereich C: Führen und Messen in aktiven Mikrosystemen |
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| Arbeitsgruppen: |
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| Transferprojekte: |