Sonderforschungsbereich 516
Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme


Gliederung des Sonderforschungsbereiches

Die Projektbereiche und Arbeitskreise

Der Sonderforschungsbereich untergliedert sich in 3 Projektbereiche, die jeweils aus unterschiedlichen Teilprojekten gebildet werden. Außerdem gibt es verschiedene Arbeitsgruppen, die den Austausch der wissenschaftlichen Ergebnisse zwischen den einzelnen Projektbereichen gewährleisten.

Projektbereich A:
Entwurf und Konstruktion
  • A1: Auslegung aktiver Mikrosysteme
  • A3: Rechnerunterstützte Entwurfsumgebung
  • A6: Steuerung und Regelung aktiver Mikrosysteme
Projektbereich B:
Fertigung
  • B1: Fertigung magnetischer Schichten für elektromagnetische Mikroaktoren
  • B3: Spanende Mikrobearbeitung
  • B4: Sensorführung von Mikromontageprozessen
  • B5: Bauteilhandhabung bei der Montage aktiver Mikrosysteme
  • B6: Geometrische Meßtechnik
  • B7: Fertigung von Funktionskomponenten für elektromagnetische Mikroaktoren
  • B8: Klebstoffverarbeitung in Batch-Technologie zur Fertigung von Mikrosystemen
Projektbereich C:
Führen und Messen in aktiven Mikrosystemen
  • C1: Verschleiß bei Mikrokomponenten
  • C2: Reibungsverhalten bei Mikroführungen
  • C3: Aktive Linearführungen für Mikrosysteme
  • C5: Wegmesstechnik
Arbeitsgruppen:
Transferprojekte: